Υπάρχουν τρία είδη κρυσταλλικών δομών στο νιτρίδιο του πυριτίου (Si3N4), οι οποίες είναι τρεις φάσεις των α, β και γ. Οι δύο φάσεις α και β είναι οι πιο κοινές μορφές του Si3N4 και μπορούν να παρασκευαστούν υπό κανονική πίεση. Η φάση γ μπορεί να συντεθεί μόνο υπό υψηλή πίεση και υψηλή θερμοκρασία και η σκληρότητά της μπορεί να φτάσει τα 35GPa.
Το εξαγωνικό β-Si3N4 μπορεί να συνδυαστεί άμεσα με στοιχειακό πυρίτιο και άζωτο για τη λήψη νιτριδίου πυριτίου στα 1300-1400 ℃:
3 Si (s) {{16}} 2 N2 (g) → Si3N4 (s) μπορεί επίσης να συντεθεί με διϊμίδιο SiCl4 (l) + 6 NH3 (g) → Si (NH) 2 (s) + 4 NH4Cl (s) ) σε 0 ℃ Υπό τις συνθήκες 3 Si (NH) 2 (s) → Si3N4 (s) + N2 (g) + 3 H2 (g) κάτω από 1000 ℃ ή με αντίδραση καρβοθερμικής μείωσης κάτω από 1400-1450 ℃ άζωτο: 3 SiO2 (s) + 6 C (s) + 2 N2 (g) → Si3N4 (s) + 6 CO (g)
