Οι παράμετροι μοναδιαίων κυττάρων του νιτριδίου του πυριτίου είναι διαφορετικές από το στοιχειακό πυρίτιο. Επομένως, ανάλογα με τη μέθοδο εναπόθεσης, το προκύπτον φιλμ νιτριδίου του πυριτίου θα προκαλέσει ένταση ή πίεση. Ειδικά όταν χρησιμοποιείτε τεχνολογία χημικής εναπόθεσης ατμών ενισχυμένη στο πλάσμα, η τάση μπορεί να μειωθεί προσαρμόζοντας τις παραμέτρους εναπόθεσης.
Πρώτον, το διοξείδιο του πυριτίου παρασκευάζεται με τη μέθοδο sol-gel και στη συνέχεια το πήγμα πυριτίας που περιέχει εξαιρετικά λεπτά σωματίδια άνθρακα υποβάλλεται σε επεξεργασία με καρβοθερμική αναγωγή και νιτρίωση για να ληφθούν νανοσύρματα νιτριδίου του πυριτίου. Τα εξαιρετικά λεπτά σωματίδια άνθρακα σε σιλικαζέλ παράγονται με την αποσύνθεση της γλυκόζης στους 1200-1350 ℃. Οι αντιδράσεις που εμπλέκονται στη διαδικασία σύνθεσης μπορεί να είναι:
SiO2 (s) + C (s) → SiO (g) + CO (g)
3 SiO (g) + 2 N2 (g) + 3 CO (g) → Si3N4 (s) + 3 CO2 (g) ή
3 SiO (g) + 2 N2 (g) + 3 C (s) → Si3N4 (s) + 3 CO (g)
